概述

EllipsoStep 系統(tǒng)是目前*快的成像橢偏儀。EllipsoStep 可以在 4 秒內(nèi)測(cè)量全分辨率橢圓圖像（Psi、Delta、強(qiáng)度）。專門(mén)設(shè)計(jì)的光學(xué)組件使 EllipsoStep 系統(tǒng)能夠使用從 250nm 到 1000nm 的擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍測(cè)量樣品。

與速度明顯較慢且需要插值算法來(lái)測(cè)量完整圖像的傳統(tǒng)歸零橢圓偏振成像儀不同，EllipsoStep 可以快速直接地逐像素測(cè)量樣品的橢圓偏振特性。

EllipsoStep 成像橢圓儀系統(tǒng)可以執(zhí)行橫向分辨率小于 1 um 的測(cè)量，這比使用微點(diǎn)技術(shù)的非常先進(jìn)的傳統(tǒng)橢圓儀小 50 倍。

EllipsoStep 系統(tǒng)使用各種光學(xué)附件，允許用戶實(shí)時(shí)查看樣品的顯微圖像，并且當(dāng)與 Axometrics 的優(yōu)異分析特性結(jié)合使用時(shí)，可以測(cè)量薄膜厚度和折射率等特性。與所有其他 Axometrics 測(cè)量系統(tǒng)一樣，EllipsoStep 還包括各種可用的桌面、大型和生產(chǎn)測(cè)量夾具。

應(yīng)用

EllipsoStep 系統(tǒng)允許逐點(diǎn)橢圓測(cè)繪，能夠測(cè)量各種薄膜應(yīng)用的厚度和折射率特性。包括
半導(dǎo)體：橢圓偏光法是半導(dǎo)體測(cè)量的當(dāng)前行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)添加顯微成像功能，用戶可以更好地改進(jìn)他們的制造流程。
LCD/OLED 顯示器： LCD 和 OLED 顯示器都使用薄膜沉積技術(shù)。Axometrics 目前可以利用我們?cè)陲@示技術(shù)方面的經(jīng)驗(yàn)，并將其應(yīng)用于制造過(guò)程的這些部分。
聚合物：聚合物薄膜目前用于顯示器行業(yè)的薄膜結(jié)構(gòu)，可以使用 EllipsoStep 進(jìn)行表征。
太陽(yáng)能電池：替代能源是一個(gè)非常大的新興市場(chǎng)，而橢圓偏光儀是開(kāi)發(fā)下一代太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵工具。
石墨烯：人們對(duì)石墨烯等二維材料的新興技術(shù)非常感興趣。成像橢圓偏振儀是表征這些快速發(fā)展的技術(shù)的新工藝的寶貴工具。

示例測(cè)量

EllipsoStep 軟件為測(cè)量和分析圖案樣品提供了一個(gè)方便的界面。測(cè)量完成后，操作員可以返回并測(cè)試圖像中的不同區(qū)域。下面的示例顯示了跨越兩個(gè)不同區(qū)域的線掃描：一個(gè)在 Si 上有 95 nm 的 SiO2，另一個(gè)在 Si 上有天然氧化物。

下面的示例顯示了在靠近基板邊緣的大型濺射機(jī)上使用的蔭罩角處的涂層厚度滾降。可以計(jì)算 2D 曲面圖或 1D 線掃描。即使厚度因圖像內(nèi)的多個(gè)延遲級(jí)而異，EllipsoStep 也可以確定圖像內(nèi)任何位置的正確薄膜厚度。

憑借其 1 μm 的空間分辨率，EllipsoStep 可以直接測(cè)量表面粗糙度或厚度均勻性。

還可以同時(shí)測(cè)量測(cè)試元件組 (TEG) 內(nèi)的多個(gè)區(qū)域。模式匹配例程可以自動(dòng)識(shí)別圖像中的元素，并自動(dòng)將正確的橢圓配方應(yīng)用于每個(gè)區(qū)域。

聯(lián)系 Axometrics 討論您的應(yīng)用或提供用于演示測(cè)量的樣品。 

參數(shù)

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