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ULDEX-1600是一種太陽能電池硅基板,它是一種提供引入蝕刻氣體并利用高頻功率形成表面凹凸結(jié)構(gòu)的工藝的器件。通過在硅基板的表面形成低反射的凹凸結(jié)構(gòu),可以提高太陽能電池的光吸收率,有助于提高電池轉(zhuǎn)換效率。
特征
- 高產(chǎn)量:4000pcs./hr
- 結(jié)構(gòu)簡單:腔內(nèi)無驅(qū)動
- 維護(hù)簡單
采用
- 單晶硅襯底
- 多晶硅襯底
- 類單晶硅板
規(guī)格
ULDEX-1600 | ||
晶圓尺寸 (mm) | □ 156 | |
托盤安裝數(shù)量(□ 156mm) | 100 件。 | |
房間組成 | 1) 工藝室 | 2 間客房 |
2) 傳送機(jī) | 選項 | |
吞吐量 | 4000(ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)條件) |