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卷繞濺射設(shè)備SPW系列
是一種可以在塑料薄膜上形成多層光學(xué)薄膜、金屬等的裝置。成膜室之間進(jìn)**氛分離,可一次形成高性能多層膜。
特征
- 可根據(jù)工藝和生產(chǎn)率選擇模塊。
- 由于出色的氣氛分離性能和工藝優(yōu)化,可以形成高質(zhì)量的薄膜。
- 陰極類(lèi)型可以根據(jù)應(yīng)用從平面和旋轉(zhuǎn)中選擇。
采用
- 觸控面板用配線(xiàn)膜、透明導(dǎo)電膜、隱形膜等
- FPC用電極膜
規(guī)格
SPW-030 | SPW-060 | SPW-165Cn | |
目標(biāo)材料 | ITO、Nb 2 O 5、SiO 2、Cu 和金屬 | ||
網(wǎng)頁(yè)材料 | PET、筆、PI、PC、COP、TAC | ||
網(wǎng)幅 | *大300mm | *大750mm | Max1600mm |
陰極數(shù) | 4 | 8 | 8 × n |