主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
離子注入機(jī)
用于研發(fā)的中電流離子注入機(jī)
IMX-3500
詳情介紹：
離子注入機(jī)
用于研發(fā)的中電流離子注入機(jī)IMX-3500
中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款*大能量為200 kV、晶圓尺寸可達(dá)8英寸的離子注入機(jī)，是高校研發(fā)的理想選擇。
特征
- 它的*大晶圓尺寸為 8 英寸，并配備了與非晶基板兼容的壓板。
- 除了氣體源，B、P、As離子都可以作為離子源，也可以使用易于**處理的固體蒸發(fā)源。
- 高壓端子部分采用與量產(chǎn)設(shè)備相同的配置，確保高可靠性。
規(guī)格
| 活力 | 30-200keV（可選3-200keV兼容） |
| *大束流 |
11B + 400μA (200keV) 31P + 600μA (200keV) |
| *小束流 | 150nA |
| 離子種類 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等 |
