主營(yíng)產(chǎn)品:

光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科干法蝕刻設(shè)備重慶出售
產(chǎn)品型號(hào)：APIOS NE-950EX
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

蝕刻裝置干法蝕刻設(shè)備 APIOS NE-950EX

詳情介紹：

蝕刻裝置

干法蝕刻設(shè)備APIOS NE-950EX

量產(chǎn)的 LED 用干法蝕刻設(shè)備“NE-950EX”與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，生產(chǎn)率提高了 140%。它是配備ICP高密度等離子源和ULVAC**星形電極的干法蝕刻設(shè)備。

特征

實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率（與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%）。
4英寸晶圓可以同時(shí)批處理7個(gè)晶圓，6英寸晶圓可以同時(shí)批處理3個(gè)晶圓。
29 個(gè)小直徑 2 英寸晶圓和 12 個(gè) 3 英寸晶圓是可能的。
配備了擁有超過 600 種化合物半導(dǎo)體的跟蹤記錄的磁場(chǎng) ICP (ISM * 1) 高密度等離子體源。
實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率（與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%）。
* 1: ULVAC **號(hào) 3188353
配備了 ULVAC *初開發(fā)的星形電極 *2，以防止 RF 輸入窗口上出現(xiàn)污垢。
實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率（與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%）。
* 2: ULVAC **號(hào) 3492391
通過徹底的倉(cāng)庫措施實(shí)現(xiàn)了可維護(hù)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性的硬件。
工藝應(yīng)用豐富的干法刻蝕技術(shù)（GaN、藍(lán)寶石、各種金屬、ITO、SiC、AlN、ZnO、四元化合物半導(dǎo)體材料等）。
豐富的可選功能。