主營產(chǎn)品:

光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設(shè)備、氣動工具、電動工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

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產(chǎn)品名稱：密度等離子刻蝕設(shè)備日本ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：NE-550EX
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

蝕刻裝置研發(fā)用高密度等離子刻蝕設(shè)備 NE-550EX

詳情介紹：

蝕刻裝置

研發(fā)用高
密度等離子刻蝕設(shè)備NE-550EX

NE-550EX研發(fā)用高密度等離子刻蝕設(shè)備標(biāo)配磁場ICP（ISM=Inductively Super Magnetron）高密度等離子刻蝕設(shè)備和單片LL腔體作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸和低價...

特征

借助磁場輔助，與其他 ICP 方法相比，可以產(chǎn)生低壓、低電子溫度和高密度等離子體，并且可以進(jìn)行從離子蝕刻到自由基蝕刻的廣泛等離子體控制，因此可用于各種工藝一個開發(fā)工具。
配備“星形電極”以防止沉積物粘附在射頻輸入窗口上。此外，它還具有加熱功能，是一種強(qiáng)調(diào)再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的設(shè)備概念。
實(shí)現(xiàn)可靠性高的搬運(yùn)機(jī)器人等研發(fā)工具的可靠性，裝置結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。
可添加豐富的可選功能和卡帶室。
NE-5700 和 NE-7800 的產(chǎn)品陣容可兼容由同一腔室組成的多個腔室，用于量產(chǎn)線。

采用

復(fù)合材料（LED、LD、高頻器件和功率器件）。
電極加工、金屬布線、有機(jī)薄膜、陶瓷加工等
用于處理難以蝕刻的材料，例如鐵電體、貴金屬和磁性薄膜。
Nanoimprint、NEMS、MEMS、各種傳感器。
生物芯片、微流控器件、光子晶體等

規(guī)格

物品	規(guī)格
系統(tǒng)配置	研發(fā)/原型設(shè)備+負(fù)載鎖定室
板尺寸	~ 150 毫米
工作壓力(Pa)	0.07 至 6.7
平面內(nèi)和平面間均勻性	± 3% *大值
板溫控制	靜電夾頭