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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科薄膜聚合設(shè)備重慶出售
產(chǎn)品型號(hào)：VEP系列
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡單介紹：

薄膜聚合設(shè)備有機(jī)/無機(jī)復(fù)合成膜設(shè)備 VEP系列

詳情介紹：

薄膜聚合設(shè)備

有機(jī)/無機(jī)復(fù)合成膜設(shè)備VEP系列

VEP系列有機(jī)/無機(jī)復(fù)合成膜設(shè)備是一種可以通過薄膜沉積、濺射、等離子體聚合、氣相沉積聚合等方法形成各種有機(jī)/無機(jī)材料的設(shè)備。您可以根據(jù)自己的目的自由選擇加工室。

特征

一個(gè)單一功能的真空處理室可以組合多個(gè)成膜室。
可以在真空中連續(xù)進(jìn)行一系列加工。
您可以根據(jù)有機(jī)材料的蒸氣壓選擇蒸發(fā)源。
您可以在未來連接任何您想要的處理室。

采用

分子裝置
生物傳感器
有機(jī)EL/半導(dǎo)體
層間絕緣膜
有機(jī)功能薄膜

規(guī)格

設(shè)備名稱	VEP-1000 系列
腔體材料	由不銹鋼制成
腔室尺寸	直徑 350 毫米 x 高度 650 毫米
板尺寸	直徑 2 英寸或 2 英寸見方
排氣系統(tǒng)	油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵
達(dá)到壓力	10 ^-4 Pa以下
基板加熱	*高溫度250℃
基板轉(zhuǎn)移	壓縮水平傳送法