主營產(chǎn)品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
真空蒸鍍設備
單晶片沉積設備
EME-400
詳情介紹：
真空蒸鍍設備
單晶片沉積設備EME-400
單晶圓沉積設備 EME-400 是配備六角形芯的單晶圓負載鎖定設備。由于每個工藝室通過機械手室由閘閥隔開，因此可以在沒有污染的情況下連續(xù)成膜，使其成為適合生產(chǎn)的設備。
特征
- 成膜和加熱室的選擇性對接是可能的
- 支持高達 300 mm x 400 mm 的電路板
- 正面朝上運輸使與轉運機器的對接變得容易
- 由于基板旋轉機制，薄膜厚度分布良好
- 基板加熱*高溫度350℃
- 使用橫向 EB 槍的緊湊型設備配置
- 可選擇安裝棒料場或線場供料機構
采用
- 美聯(lián)儲等
