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特征
- 納米管可以垂直于襯底生長。
- 納米管只能在玻璃基板上的特定金屬位點(diǎn)上直接和選擇性地生長。
- 生長過程中的襯底溫度約為 600°C。
- 配備加熱機(jī)構(gòu)/微波功率可變/基板加熱/電場施加機(jī)構(gòu)/熱燈絲/排氣系統(tǒng)添加/氣體系統(tǒng)添加/負(fù)載鎖定等選項(xiàng)。
采用
- 半導(dǎo)體工藝(通過布線、柵電極)
規(guī)格
CN-CVD-400 | |
*大板尺寸 | 4英寸 |
安裝空間 | 3.5m x 1.7m x 2.1m(不含維修空間) |
交流電 | 200V±10% |
管道連接 | NW25KF |
稀釋氣體 | 氮>10 SLM |
工藝氣體競爭 | 錄像機(jī) 6.35 毫米 |