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卷繞濺射設(shè)備SPW系列
SPW系列是一種可在塑料薄膜上形成光學(xué)薄膜、金屬等多層薄膜的卷取濺射裝置。成膜室之間進(jìn)**氛分離,可一次形成高性能多層膜。
特征
- 可根據(jù)工藝和生產(chǎn)力選擇模塊
- 通過任意選擇和添加模塊,可適用于各種用途
- 設(shè)備操作可以在地面上進(jìn)行
- 通過優(yōu)良的氣氛分離性能和成膜工藝的改進(jìn),可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量薄膜的高速成膜。
采用
- 觸控面板用配線膜、透明導(dǎo)電膜、隱形膜等
- FPC用電極膜
規(guī)格
SPW-030 | SPW-060 | SPW-165 C1 | SPW-165 C2 | |
目標(biāo)材料 | ITO、Nb 2 O 5、SiO 2、Cu 和金屬 | |||
網(wǎng)幅 | *大300mm | *大750mm | Max1600mm | |
卷筒紙厚度 (μm) | 25 到 200 | |||
網(wǎng)頁材料 | PET、PI、PC、COP等 | |||
W / UW *大直徑 | Φ300mm | Φ400mm / Φ700mm | Φ900mm | |
卷繞速度(米/分鐘) | 0.5 至 5.0 | 0.1 到 10 | 0.5 到 10 | |
陰極結(jié)構(gòu) | 外部的 | 外部內(nèi)部 | 內(nèi)部的 | |
陰極數(shù) | 4套 | 8套 | 16套 | |
4對 | 8對 | |||
電源 | 直流或交流 | |||
主輥臺數(shù) | 1套 | 2套 | ||
先生溫度 | -5 至 180oC | -20 至 80oC | -20 至 100oC | |
-10 至 180oC | ||||
選項 選項 | 轟擊系統(tǒng)、離子槍等 |