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濺射裝置串聯(lián)式
水平在線
濺射設備SCH系列
SCH 系列是一種水平在線濺射設備,可沉積透明導電薄膜和金屬薄膜。支持太陽能電池生產線上的背面電極膜、絕緣膜等各種成膜工藝。
特征
-
經多條量產線驗證的高可靠性
-
兼容大板和高混合板
-
采用高倍率高效陰極
-
支持多種成膜方法(depot down / depot up,DC / AC / RF sputtering)
-
簡單易維護
采用
-
太陽能電池用透明導電膜、背電極膜、前驅膜、緩沖膜
水平在線
濺射設備SCH系列
SCH 系列是一種水平在線濺射設備,可沉積透明導電薄膜和金屬薄膜。支持太陽能電池生產線上的背面電極膜、絕緣膜等各種成膜工藝。
特征
- 經多條量產線驗證的高可靠性
- 兼容大板和高混合板
- 采用高倍率高效陰極
- 支持多種成膜方法(depot down / depot up,DC / AC / RF sputtering)
- 簡單易維護
采用
- 太陽能電池用透明導電膜、背電極膜、前驅膜、緩沖膜