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特征
- 通過僅傳輸基板和使用側(cè)庫方法實現(xiàn)低顆粒
- 節(jié)省空間的設(shè)計
- 易于管理單個基板,例如成膜條件
- 根據(jù)成膜物質(zhì)的陰極陣容
- 以豐富的經(jīng)驗和數(shù)據(jù)支持廣泛的成膜工藝
采用
- 彩色濾光片
- 顯示器(TFT、智能手機、平板電視(2K、4K)、OLED)
規(guī)格
模型 | G4.5 | G6 | G8.5 | |
貼片-950X | 貼片-1800X | 貼片-2400C | ||
X型 | 立式 | |||
板尺寸(毫米) | 730 X 920 | 1500 X 1850 | 2200 X 2500 | |
房間組成 |
1) 準(zhǔn)備/拆除室 | 2 | 2 | 1 |
2) 加熱室 | 1 | ―――― | ||
3) 運輸室 | 1 | 1 | ―――― | |
4) 飛濺室 | 2(*多 3 個陰極) | 2(*多 2 個陰極) | 四 | |
5) 送板位置 | ―――― | ―――― | 1 | |
高真空排氣系統(tǒng) | 低溫泵或渦輪分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
送板系統(tǒng) | 1 或 2 步臂 | 兩級臂 |
托盤+滾筒輸送系統(tǒng) |