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主要特點(diǎn)
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LEGEX系列是一款超高精度CNC坐標(biāo)測(cè)量機(jī),通過(guò)徹底分析和消除誤差因素,擁有世界*高水平的精度。
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主體底座采用精心挑選的材料制成,采用密封結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)高剛性和高阻尼。此外,使用有限元結(jié)構(gòu)分析模擬的應(yīng)力分析被徹底執(zhí)行,以確保幾何運(yùn)動(dòng)精度,*大限度地減少由于負(fù)載波動(dòng)引起的變形。此外,我們還引入了多項(xiàng)技術(shù)以實(shí)現(xiàn)超高精度,例如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策。
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用于位置檢測(cè)的測(cè)長(zhǎng)單元配備了超高精度測(cè)長(zhǎng)單元(內(nèi)部制造),該單元結(jié)合了熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度結(jié)晶玻璃標(biāo)尺和高精度高分辨率高性能反射式線性編碼器,具有極高的位置檢測(cè)能力,可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制。
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超高精度機(jī)器的安裝環(huán)境要求恒溫等級(jí),但溫度補(bǔ)償功能可以保證在大范圍溫度環(huán)境下的精度。
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我們提供多種選項(xiàng),包括探頭(接觸式和非接觸式)和數(shù)據(jù)處理設(shè)備,以支持對(duì)各種工件的簡(jiǎn)單和超高精度測(cè)量。
外形尺寸
