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SMIF POD清潔系統(tǒng)CP-2200

這是為了**清潔和干燥8英寸SMIF POD而開(kāi)發(fā)的前端操作方法的手動(dòng)設(shè)定方法。
CP-2200是一種清潔和干燥設(shè)備,適用于研究用途,中試線等,具有半導(dǎo)體設(shè)備和先進(jìn)技術(shù)的容器清潔設(shè)備制造商獨(dú)有的先進(jìn)知識(shí)。
CP-2200也可以使用盒式清潔/干燥等。
產(chǎn)品概述
●SMIF箱,同時(shí)純水射流清洗,基部?jī)?nèi)表面的氣刀暖風(fēng)干燥的蓋部的內(nèi)表面和外表面
●吊艙旋轉(zhuǎn)時(shí),設(shè)置在靠近噴嘴的精密清洗,干燥
●除了洗滌少量期間純凈水引流到預(yù)防**的產(chǎn)生
操作方便通過(guò)●觸摸屏
●序器系統(tǒng)通過(guò)控制器
●友好的操作者的各種**裝置
●維修方便
可以是各種各樣的設(shè)計(jì)能夠滿足需求的辦法●
規(guī)范
設(shè)定方法 | 手冊(cè) | |
處理目標(biāo) | 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁帶 | |
處理時(shí)間 | 1套/ 15分鐘 | |
外部尺寸 | 1300(寬)x 70(長(zhǎng))x 1580(高)毫米(當(dāng)室門(mén)打開(kāi)時(shí)) | |
重量 | 300公斤 | |
電源 | 3相,200 VAC(帶接地),8 KVA,50/60 Hz | |
純凈水 | 流量 | 10升/分鐘(低要求流量) |
壓力 | 0.1 Mpa | |
CDA (干凈的干燥空氣) |
流量 | 1600 NL / min |
壓力 | 0.7 Mpa | |
排氣 | 發(fā)動(dòng)機(jī)排量 | 2000 NL / min或更高 |
引流 | 流量 | 40升/分鐘以上 |