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半導體
晶圓對準機AFA 150 / MFA 150 / ANA 150 / MNA 150


晶圓自動對齊(也可手動調整)。批量對齊凹口晶圓(ANA,MNA)或平坦晶圓(AFA,MFA)。節(jié)省空間的桌面類型。它對應150毫米。


產品概述
●批量對齊扁平晶圓(AFA,MFA)或Notch晶圓(ANA,MNA)。
●節(jié)省空間的桌面型
●實現(xiàn)ESD保護。采用了特殊材料的接觸點為所有晶圓和載體,清潔和對齊**的
●自動型(AFA,ANA)開始設置了職業(yè)生涯排列
●能夠通過對準角度來選擇是要鍵盤
●SECS / GME相應可能
●手動型(MFA,MNA)不涉及**性或顆粒污染高成本效益且簡單易用
規(guī)范
電源 | AC 100/240 V,50/60 Hz |
目前的能力 | 1.2 A. |
外部尺寸 |
AFA 150:285(長)×220(寬)×192(高)mm
(自動型,扁平晶圓)
MFA150:226(L)×175(寬)×128(高)mm
(手動型,平坦的晶片) ANA150:285(L)×220(寬)×192(高)mm (自動型,Notchiweha) MNA150:226 (L)x 175(寬)x 128(高)mm (手動型,缺口晶圓) |