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通過安裝ORC新開發(fā)的8 kW短弧燈,實(shí)現(xiàn)了85 mW / cm的初始照度。曝光時間比傳統(tǒng)機(jī)型減少約25%。
由已經(jīng)發(fā)展了許多年,以實(shí)現(xiàn)開口直徑Φ50μm的處于L高分辨率的ORC的光學(xué)技術(shù)/ S =12μm的,用阻焊干膜。
我們采用高性能的鏡頭和照明系統(tǒng)ORC原來開發(fā)的對準(zhǔn)相機(jī)。
通過提高標(biāo)記識別精度,可以獲得高對準(zhǔn)精度。
根據(jù)產(chǎn)品所要求的精度,可以在2/3/4/6分區(qū)進(jìn)行對準(zhǔn)/曝光。
每個劃分區(qū)域的對齊提高了總體的覆蓋精度。
HEPA過濾器安裝在運(yùn)輸機(jī)構(gòu)和曝光室。我們將優(yōu)化下流并消除細(xì)小顆粒。另外,通過新開發(fā)的清潔機(jī)構(gòu),可以去除曝光臺上的掩膜和異物。