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開發(fā)了兼容5μm的高分辨率,高精度光學(xué)系統(tǒng),重新設(shè)計(jì)了曝光階段。通過控制整個(gè)設(shè)備的溫度,分辨率和準(zhǔn)確度已經(jīng)提高到了極限。對準(zhǔn)精度|平均| +3σ≤3.5μm是世界上*好的DI機(jī)。


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標(biāo)準(zhǔn)配備了跟隨薄板波紋和不平整的自動對焦功能。我們還采用了一種新型的轉(zhuǎn)印機(jī),減少轉(zhuǎn)印過程中對紙板的損壞。 | |

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減少整個(gè)設(shè)備腔體對外部環(huán)境的影響。我們還在傳輸過程中自動切換襯底尺寸,減少人們觸摸的設(shè)置。以這種方式防止顆粒流入,實(shí)現(xiàn)清潔的改善和穩(wěn)定。 | |

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它在DI機(jī)中具有**個(gè)0.25μm間距的數(shù)據(jù)分辨率,提高了線寬的穩(wěn)定性。使用我們專有的矢量引擎,提高分辨率不會影響曝光時(shí)間。 | |

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板厚測量功能 | ■DAT算法 |
#編號 | 多對齊系統(tǒng) |
■條形碼繪圖 |