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功能
這是一種小巧輕便的便攜式,可以很容易地管理曝光設備的照度和光強度。
紫外光強度和光強度可以很容易地測量。
接收器,你會根據(jù)這樣的使用是(你的計劃)光源和抗蝕劑的靈敏度選擇為UV-25,35,42。但是,如果使用的是電子電路(印刷電路)板的制造工藝中的UV-SN25中,UV-SN35,UV-SN42,半導體,UV-SD25在你的液晶基板的制造過程的情況下,UV建議選擇-SD 35,UV-SD 42
測量數(shù)據(jù)可以通過RS-232C通訊輸出進行傳輸。
它也有一個模擬輸出。
關于SD類型和SN類型
SN型自古以來一直使用我們的曝光設備和照射設備,已經(jīng)被客戶廣泛采用,保證了流程管理的連續(xù)性。
在SD型半導體和液晶基板的制造工藝的領域中,已經(jīng)是一個顧客使用的是由其它公司,他們的樂器,如果兼容性是重要(本公司制的數(shù)據(jù)的曝光裝置的制造的光計但是,投影型曝光裝置和液晶基板的周邊曝光裝置采用SD型),推薦使用全新的光度計等的顧客。
在SD型和SN型的指示值上
SD類型所指示的值作為SN類型,以確保從用作相同的測量條件下進行校準的輻射源公司測量集團的高壓UV燈的舊(測定365nm的發(fā)射線的過程數(shù)據(jù)的兼容性它 被調(diào)整為比顯示的值高39%:mW / cm 2顯示)。
關于與其他廠商光度計的數(shù)據(jù)兼容性
不同于可見光(亮度測量,如家庭,辦公室,商店,博物館LUX單元照度計),標準照度米要被施加到所有的照度計對紫外線未被指定,但( JIS的工作似乎只在有限的使用中進行)。
的公司的相對光譜靈敏度,對于由光源主要由365nm的發(fā)射線,開始與測量的峰值波長處測量的照度的目的進行(波長相對光譜靈敏度特性是由1表示),短波長側(cè)的上升(300nm的310nm的?之前和之后)和長波長側(cè)(約在380nm?400nm的),波長與之前和下來常設已經(jīng)稍微不同的曲線之后。
另外,如果你Chikazukeyo與據(jù)說這是COSθ特性光接收裝置的接收角特性理想曲線,但已經(jīng)在設計圖面的努力,現(xiàn)實的情況是不是中間的人認識。
◆規(guī)格
接收器(可更換)
UV-SD 35(UV-SN 35)
測量波長范圍
310至385nm
測量照度范圍
0.001至50mW / cm 2
測量的光量范圍
0.001至19999mJ / cm 2
對齊精度
在我們的UV標準的±1.5%以內(nèi)
重復性
在±1.5%