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產(chǎn)品名稱：日本ULVAC愛發(fā)科灰化裝置重慶出售
產(chǎn)品型號：夜光NA系列
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

灰化裝置灰化裝置夜光NA系列

詳情介紹：

灰化裝置

灰化裝置夜光NA系列

Luminous NA 系列是一種無晶圓尺寸的灰化設(shè)備，可以處理從關(guān)鍵的下一代晶圓工藝到晶圓級安裝工藝的各種工藝。

特征

無損傷地實施下一代關(guān)鍵晶圓工藝所需的 1 x 10 ¹⁶原子/cm ²或更高離子注入剝離工藝和聚合物去除工藝。
它的腔室配置*適合 F 基氣體添加過程，并且不含顆粒。因此，可以從普通的PR構(gòu)建離子注入剝離、有機膜剝離（PI、DFR等）剝離、氧化膜蝕刻等非常廣泛的工藝。
通過采用簡單的設(shè)備配置，同時實現(xiàn)了“**的可維護性和可靠性”和“低成本”。
可以實現(xiàn)靈活的腔室配置（μ 波、RIE、μ 波 + RIE），并且可以選擇多種傳輸路徑。
只需設(shè)置配方即可切換晶圓尺寸，更改晶圓尺寸非常方便。