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特征
-
利用傳統(tǒng)工藝數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)易用性
-
通過在負(fù)載鎖定室中安裝盒式機(jī)構(gòu)(選件)來提高生產(chǎn)率
-
*大基材轉(zhuǎn)移尺寸為Φ300 mm(保證膜厚分布在中心Φ200 mm處)。
-
支持多陰極堆疊/同時(shí)濺射
-
通過觸摸面板和配方輸入的自動(dòng)處理,省力的操作
-
可記錄數(shù)據(jù)
采用
-
電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
-
介電成膜、絕緣膜、鈍化、保護(hù)膜等
-
用于電子元件的研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)
特征
- 利用傳統(tǒng)工藝數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)易用性
- 通過在負(fù)載鎖定室中安裝盒式機(jī)構(gòu)(選件)來提高生產(chǎn)率
- *大基材轉(zhuǎn)移尺寸為Φ300 mm(保證膜厚分布在中心Φ200 mm處)。
- 支持多陰極堆疊/同時(shí)濺射
- 通過觸摸面板和配方輸入的自動(dòng)處理,省力的操作
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采用
- 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
- 介電成膜、絕緣膜、鈍化、保護(hù)膜等
- 用于電子元件的研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)