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真空鑷子C系列(導(dǎo)電型)特點(diǎn)

- 真空鑷子主體采用碳纖維填充尼龍樹脂(交易卡)制成,具有優(yōu)異的物理性能和導(dǎo)電性。此外,內(nèi)部閥門部分采用氟樹脂,周圍結(jié)構(gòu)采用特殊成型方法覆蓋碳纖維,不會(huì)損害氣密性。因此,與傳統(tǒng)的F系列一樣,該閥門可以輕松打開和關(guān)閉。(已獲得**)
- 連接到主機(jī)后部的尼龍連接器由比電阻值10的6次方±2控制。
- 吸附頭采用碳纖維和納米碳管的導(dǎo)電PEEK樹脂材料制成,具有優(yōu)異的耐化學(xué)性、耐熱性和韌性,經(jīng)過機(jī)械加工、熱處理和鏡面精加工,確保長期使用時(shí)穩(wěn)定保持性能。
- 吸附芯片有多種尺寸,并且可以從多種尺寸中進(jìn)行選擇以適應(yīng)每種晶圓尺寸。
真空鑷子C系列(導(dǎo)電)5英寸晶圓設(shè)置示例

代碼號(hào) | 姓名 | 材料 |
尺寸(毫米)
|
||||
時(shí)間
|
瓦
|
L1
|
L2
|
直徑
|
|||
64 |
3至5英寸導(dǎo)電多孔芯片(*注) |
導(dǎo)電聚醚醚酮 |
2.7 |
16 |
26 |
82 |
0.8 |
90 |
5英寸導(dǎo)電Y型** |
導(dǎo)電聚醚醚酮 |
2.7 |
16 |
26 |
82 |
|
94 |
4英寸導(dǎo)電X/Z型** |
導(dǎo)電聚醚醚酮 |
2.6 |
十 |
21 |
30 |
|
95 |
5英寸導(dǎo)電X/Z型** |
導(dǎo)電聚醚醚酮 |
2.7 |
15 |
27 |
37 |
