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模型 | 輸入電流 | 照明類(lèi)型 | 峰值波長(zhǎng) |
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IHVE-21IR-1100 | – | 同軸聚光燈 | 1100 納米 |
*請(qǐng)同時(shí)考慮紅外照明Infrared 系列和長(zhǎng)波長(zhǎng)紅外照明Infrared3 系列。
什么是紅外線
介紹使用紅外線照明進(jìn)行電路圖案檢查的示例。
紅外光的波長(zhǎng)比可見(jiàn)光(可見(jiàn)光)更長(zhǎng),人眼不可見(jiàn)。
與紫外光和可見(jiàn)光相比,紅外光的散射率非常低,因此具有很高的透光率,可以讓液體和墨水通過(guò)。
特別是波長(zhǎng)為1100nm的光具有可以透過(guò)硅的特性。
此外,與鹵素不同,波長(zhǎng)范圍有限,因此不會(huì)影響感光工件。
紅外波長(zhǎng)分布圖
成像示例:觀察硅晶片上的電路圖案
即使是相同紅外波長(zhǎng)的照射光,特性也會(huì)根據(jù)波長(zhǎng)而變化。
硅片不透過(guò)短波長(zhǎng)的光,但紅外波長(zhǎng)從1000nm左右開(kāi)始透過(guò),1100nm以上紅外波長(zhǎng)的透過(guò)率變得恒定。
因此,在850nm和940nm的紅外照明下幾乎不可見(jiàn),可用于1100nm或更高的紅外照明的透射檢查。
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成像環(huán)境 攝像頭:CMOS單色攝像頭 鏡頭:遠(yuǎn)心鏡頭 x1 基板:柔性印刷電路板
電路板固定在晶圓上,假設(shè)電路在晶圓上進(jìn)行評(píng)估。 |
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□ 波長(zhǎng)為850nm的照射光無(wú)法透過(guò)硅片而呈現(xiàn)黑色。 |
□ 波長(zhǎng)1100nm的照射光可透過(guò)硅晶圓,識(shí)別基板圖案。 |
□ 波長(zhǎng)為1200nm的照射光穿過(guò)硅片,但由于超出了CMOS相機(jī)的感光范圍,所以看起來(lái)是黑色的。 |