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模型 | 輸入電流 | 照明類型 | 峰值波長 |
---|---|---|---|
IHVE-21IR-1100 | – | 同軸聚光燈 | 1100nm |
*請同時考慮紅外照明Infrared 系列和長波長紅外照明Infrared3 系列。
什么是紅外線
介紹使用紅外線照明進(jìn)行電路圖案檢查的示例。
紅外光的波長比可見光(可見光)更長,人眼不可見。
與紫外光和可見光相比,紅外光的散射率非常低,因此具有很高的透光率,可以讓液體和墨水通過。
特別是波長為1100nm的光具有可以透過硅的特性。
此外,與鹵素不同,波長范圍有限,因此不會影響感光工件。
紅外波長分布圖
成像示例:觀察硅晶片上的電路圖案
即使是相同紅外波長的照射光,特性也會根據(jù)波長而變化。
硅片不透過短波長的光,但紅外波長從1000nm左右開始透過,1100nm以上紅外波長的透過率變得恒定。
因此,在850nm和940nm的紅外照明下幾乎不可見,可用于1100nm或更高的紅外照明的透射檢查。
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成像環(huán)境 攝像頭:CMOS單色攝像頭 鏡頭:遠(yuǎn)心鏡頭 x1 基板:柔性印刷電路板
電路板固定在晶圓上,假設(shè)電路在晶圓上進(jìn)行評估。 |
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□ 波長為850nm的照射光無法透過硅片而呈現(xiàn)黑色。 |
□ 波長1100nm的照射光可透過硅晶圓,識別基板圖案。 |
□ 波長為1200nm的照射光穿過硅片,但由于超出了CMOS相機的感光范圍,所以看起來是黑色的。 |