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特征
■
通過與外部傳感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等)組合實(shí)現(xiàn)高精度+/-1v 離子平衡
(+/-3v 無外部傳感器)
■兼容高清潔度
■型號 5802i、5810i、5822i ionizer blower
專為無塵室設(shè)計(jì),是符合
ISO Class 4(Fed Std 209E Class 10)的高度潔凈設(shè)計(jì)。
■通過我們獨(dú)特的自動離子平衡控制
實(shí)現(xiàn)更長的維護(hù)周期。
■配備風(fēng)扇停止警報(bào)。
■自動電極。清潔機(jī)制選項(xiàng)
高
可靠性和本地支持得到 全球許多交付的支持
規(guī)格
輸入電壓 | 100-240V 交流 +/-10% 50/60Hz |
---|---|
外部的 | 鋁材上的環(huán)氧/聚酯粉末涂層 |
離子產(chǎn)生方式 | 穩(wěn)態(tài)直流方案 |
電極 | 鈦8/扇 |
空氣流動 | 144cfm 典型值/風(fēng)扇風(fēng)扇速度 = 高 |
靜電消除時(shí)間 | <3sec. 45cm distance.1kv → 100v. Fab speed = High |
離子平衡 | <+/-1v typ(帶外部傳感器)+/-3v(不帶外部傳感器) |
尺寸 |
-32:高 96mm x 深 155mm x 長 813mm -40:高 96mm x 深 155mm x 長 1016mm -44:高 96mm x 深 155mm x 長 1118mm |
重量 | -44:鋁制機(jī)身規(guī)格4.6kg |