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產(chǎn)品概述
- SMIF POD罩蓋內(nèi)外表面和底座內(nèi)表面同時進行純水噴射清洗和風(fēng)刀熱風(fēng)干燥
- 旋轉(zhuǎn)豆莢,可通過緊密間隔的噴嘴進行**清潔和干燥
- 除清潔期間外,排出少量純凈水以防止**滋生
- 通過觸摸屏輕松操作
- 帶定序器方法的控制器
- 各種方便工人的**裝置
- 易于維護
- 多種可選設(shè)計可滿足您的需求。
規(guī)范
設(shè)置方法 | 手動的 | |
---|---|---|
加工對象 | 8 英寸 SMIF POD / 8 英寸盒式磁帶 | |
處理時間 | 1組/15分鐘 | |
物理尺寸 | 1300 (W) ×70 (D) ×1580 (H) mm (當(dāng)室門打開時) | |
重量 | 300 公斤 | |
電源 | 3 相,200 VAC(接地),8 KVA,50 / 60 Hz | |
純凈水 | 流量 | 10升/分鐘(*低要求流量) |
壓力 | 0.1 兆帕 | |
CDA (清潔干燥的空氣) |
流量 | 1600NL/分鐘 |
壓力 | 0.7兆帕 | |
排氣 | 移位 | 2000NL/分鐘以上 |
引流 | 流量 | 40升/分鐘以上 |