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該系列是用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的電阻加熱型小型氣相沉積裝置。此外,該系列的某些型號(hào)可配備電子束(EB)。
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主要規(guī)格
輸入表達(dá)式 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
---|---|---|---|---|---|
抵達(dá)壓力 | ×10 -3 Pa | ×10 -4 Pa | |||
基板加熱溫度 | - | *高300℃ | |||
蒸發(fā)源(電極) | 2至10 V*大150 A. | 2 vs. 20 V Max 200 A. | |||
閥門操作 | 手冊(cè) | 汽車 | 手冊(cè) | 汽車 | 手冊(cè) |
真空罐 |
φ300×H 300毫米 透明玻璃 |
φ500×H 500 mm(水冷型) SUS 304 |
φ800×H 700 mm(水冷型)/前門型 SUS 304 |
||
旋轉(zhuǎn)機(jī)制 | - | 革 命機(jī)制 | 自我革 命機(jī)制 | ||
內(nèi)部機(jī)制 | 快門機(jī)構(gòu),電阻加熱機(jī)構(gòu) | 快門機(jī)構(gòu),加熱加熱器,電阻加熱機(jī)構(gòu) | |||
主泵 | 油擴(kuò)散3英寸 | 油擴(kuò)散8英寸 | 油擴(kuò)散12英寸或冷凍 | ||
輔助泵 | 150升/分鐘 | 500升/分鐘 | 1500升/分鐘 | ||
主閥 | 3英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
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