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該系統(tǒng)有兩種渦輪分子泵和油擴(kuò)散泵,高真空排氣系統(tǒng),可根據(jù)客戶需要選擇制油旋轉(zhuǎn)和干泵作為輔助泵。
渦輪分子泵排氣系統(tǒng)
<TPS>型 ![]() |
油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)
<DPS>型 ![]() |
特點(diǎn)
■它適用于高真空下的各種實(shí)驗(yàn),開發(fā)和生產(chǎn)過程。
■風(fēng)冷型無需水管,減輕了維護(hù)負(fù)擔(dān)。
■100V電源,無法選擇位置。
■采用鋁材作為主框架底座,實(shí)現(xiàn)輕量化。
■緊湊的設(shè)計(jì)追求易用性。
渦輪分子泵排氣系統(tǒng)<TPS>型
● 與MZ或渦旋式干式輔助泵結(jié)合,使排氣系統(tǒng)達(dá)到全排水。
● 啟動(dòng)和停止所需的時(shí)間很短。
● 采用渦輪分子泵,結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,可實(shí)現(xiàn)意外的空氣引入。
(注意)反復(fù)故意引入空氣可能會(huì)導(dǎo)致故障。
油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)<DPS>型
● 可以以較低的成本獲得高真空環(huán)境。
● 三通閥切換功能,僅允許輔助泵獨(dú)立排氣運(yùn)行。
● 易于維護(hù)和檢查。
<TPS>類型
輸入表達(dá)式 | DPS-4-ZB | TPS-50ZB | TPS-50ZC | TPS-220ZA | TPA-220ZB | TPS-220ZC |
---|---|---|---|---|---|---|
渦輪分子泵 | 50升/秒 | 220升/秒 | ||||
輔助泵 | DW-60 | USW-50N | MZ-2CNT | DW-120 | USW-100N | ISP-250C |
抵達(dá)壓力 | ×10 -5 Pa * 1 | ×10 -3 Pa * 1 | ×10 -5 Pa * 1 | ×10 -4 Pa * 1 | ||
開始/停止時(shí)間 | 3 / 3min * 2 | 2.2 / 3.5分鐘* 2 | ||||
進(jìn)氣口直徑 | VG-65 | VG-100 | ||||
所需功率(AC) | 100 V 15 A. | |||||
塊 | 大約51公斤 | 大約55公斤 | 大約45公斤 | 大約56公斤 | 大約59公斤 | 大約70公斤 |
外形尺寸 (寬×深×高mm) |
600×400×700 | 600×400×750 | 600×400×700 | 600×400×730 | 600×400×800 | 600×400×850 |
<DPS>類型
輸入表達(dá)式 | DPS-2-ZA | DPS-2-ZB | DPS-3-ZA | DPS-3-ZB | DPS-4-ZA | DPS-4-ZB |
---|---|---|---|---|---|---|
油擴(kuò)散泵 | 58升/秒 | 150升/秒 | 215升/秒 | |||
輔助泵 | DW-60 | USW-50N | DW-120 | USW-100N | DW-120 | USW-150N |
抵達(dá)壓力 | ×10 -4 Pa * 3 | |||||
開始時(shí)間 | 17分鐘* 2 | 22分鐘* 2 | ||||
進(jìn)氣口直徑 | VF-50 | VF-80 | VF-100 | |||
所需功率(AC) | 100 V 15 A. | 100 V 15 A×2 * 4 | ||||
塊 | 大約57公斤 | 大約60公斤 | 大約68公斤 | 大約70公斤 | 大約70公斤 | 大約80公斤 |
外形尺寸 (寬×深×高mm) |
600×400×935 | 600×400×995 | 600×400×1095 | 600×400×1030 | 600×400×1130 |
* 2.啟動(dòng)時(shí)間是入口關(guān)閉時(shí)的值。時(shí)間取決于腔室容量。
* 3.它是進(jìn)氣口關(guān)閉時(shí)的值。
* 4.輔助泵和主泵有單獨(dú)的電源插頭(兩個(gè))。
*定制版本我們還可以根據(jù)規(guī)格和規(guī)格制造包含各種可選部件的定制版本。
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