主營產(chǎn)品:

光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動工具、電動工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

搜索

文章詳情

日本HUGLE藤宮株式會社容器清潔保養(yǎng)方法

日期：2025-10-11 19:02

瀏覽次數(shù)：1253

摘要：讓我們來解釋一下這里的容器。與稱為潔凈室的普通房間相比，半導(dǎo)體，硬盤等在灰塵很少的環(huán)境中制造。例如，在半導(dǎo)體中，每個(gè)都稱為芯片

什么是容器清洗？
A1: 首先，讓我們來解釋一下這里的容器。與稱為潔凈室的普通房間相比，半導(dǎo)體，硬盤等在灰塵很少的環(huán)境中制造。例如，在半導(dǎo)體中，每個(gè)都稱為芯片。
芯片是在很多圓形板上制成的，但是這塊板被稱為晶圓，在制造過程中，它被放入一個(gè)容器中，并繞過許多潔凈室內(nèi)的制造設(shè)備。容器主要由樹脂制成。

Q2: 換句話說，它是一個(gè)放置板的容器嗎？
A2: 沒錯(cuò)。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)以類似于印刷的方式“拉”出頭發(fā)千分之一的電路，所以我非常討厭灰塵。當(dāng)灰塵落在晶片上時(shí)，電路斷開或短路。
因此，還必須清潔容器。

Q3: 所以你需要清理容器？
A3: 是的，由于容器很少是一次性的，因此反復(fù)使用，因此定期清潔它會污染放在容器中的晶圓。

Q4: 怎么回事？
A4: 容器上的灰塵落入內(nèi)部的晶圓是較典型的壞事。較近，據(jù)說不僅這種，而且附著在容器和有害金屬上的化學(xué)成分“遷移”到晶片上也會造成各種危害。

Q5: 什么樣的傷害？
A5: 是一個(gè)小了，但半導(dǎo)體，被稱為“工業(yè)的飯”的簡稱，意思是一樣的米飯量是采取在同一地區(qū)的稻田的差，半導(dǎo)體也就是，可以從一個(gè)單一的晶片生產(chǎn)的芯片數(shù)量是不同。這當(dāng)然不是所有的芯片是一個(gè)問題，如果Tsukaere但是，因?yàn)楸粚檳木A上的芯片，以減少變得毫無用處盡可能是一個(gè)問題非常重要占用半導(dǎo)體制造商的事情。這稱為收益率。據(jù)說如果容器很臟，產(chǎn)量較終會上升。

Q6: Huggle以什么方式清洗容器？
A6: 基本上，用純凈水洗。純水是通過自來水以各種方式去除金屬等雜質(zhì)，使水更接近原來的H20，并去除灰塵而制成的。我使用“純水射流”（DIW JET）對它加壓并從近距離吹得很近。

Q7: 你需要干燥和洗衣機(jī)嗎？
A7: 是的，我們的UPC 12500在用純水清洗后進(jìn)行干燥過程。
將過濾器穿過客戶提供的CDA，帶有加熱器的高潔凈度的熱空氣，并將其噴灑在容器上以使其干燥。我們使用稱為旋轉(zhuǎn)的高速旋轉(zhuǎn)。

Q8: 我明白了那么，具體是哪種容器？
A8: 有各種各樣的事情。首先，它取決于電路板的尺寸，如晶圓。該工廠目前處于半導(dǎo)體的較前沿，使用200-300毫米直徑的晶圓生產(chǎn)芯片。
形狀可大致分為開放型和封閉型。前者稱為盒式磁帶，后者稱為盒式磁帶。很多磁帶（通常是25個(gè)）可以直接放在電路板上。
存儲的晶圓數(shù)量與晶圓數(shù)量一樣多，我們在這里放置晶圓。
它的形狀類似于“瀝水器”，它使板垂直地排出盤子。有更多類型的盒子，但較近，SEMI 標(biāo)準(zhǔn)確定的是常見的。; 對于內(nèi)置盒式磁帶的200毫米SMIF POD，一個(gè)稱為集成FOUP的盒子用于300毫米。

Q9: 你為什么不對這個(gè)令人不愉快的標(biāo)準(zhǔn)做出決定？
A9: 當(dāng)它脫節(jié)時(shí)，容器首先被設(shè)備“卡住”或“不停止”。
換句話說，容器和“停駐”在制造裝置，但它翻譯出來與晶片完畢就去伸展到進(jìn)程走進(jìn)他們中間的裝置的設(shè)備，你就不能這樣。在那之后，雖然工作人員稱運(yùn)營商在出廠時(shí)，我希望，如果你手工設(shè)備之間載運(yùn)集裝箱的工作，較近被稱為AMHS，喜歡或單軌，設(shè)備容器之間攜帶每個(gè)薄片，如纜車系統(tǒng)因?yàn)樗椴颊麄€(gè)工廠，所以也不能用于拆卸的容器中。
較先進(jìn)的工廠專為無人值守操作而設(shè)計(jì)。

Q10: 因?yàn)樗且粋€(gè)封閉的類型而且它是一個(gè)盒子，除非你打開或關(guān)閉蓋子，否則你不能放入和取出晶圓？
A10: 這是一個(gè)非常好的問題。準(zhǔn)確地說，它是蓋子和身體的分離和聚結(jié)，而不是打開和關(guān)閉。
Huggle的設(shè)備有一個(gè)機(jī)械裝置，可自動分離容器的蓋子和主體，清潔和干燥容器的內(nèi)外側(cè)，并自動組合。Huggle是在具有這種功能的設(shè)備中在業(yè)內(nèi)其他公司面前開發(fā)的。

問題11: 是完全無人駕駛還是可以駕駛？
A11: 一個(gè)好問題還在繼續(xù)。答案是肯定的。Hyuguru先進(jìn)設(shè)備UPC-12500 FOUP清洗系統(tǒng)中，當(dāng)一個(gè)工廠自動輸送系統(tǒng)AMHS過來承載FOUP的裝置，在該裝置自動分離，洗滌，干燥，容器的前處理團(tuán)結(jié)之后，AMHS還將其運(yùn)送到其他設(shè)備，因此可以使該過程無人值守。

Q12: 這意味著像纜車這樣的東西在工廠里運(yùn)行，但它不會導(dǎo)致灰塵離開這里嗎？
A12: AMHS本身已經(jīng)設(shè)計(jì)出灰塵不會較大化。
然而，在較近的潔凈室中，一些灰塵被允許熄滅。

Q13: 它在干凈的房間嗎？
A13: 這是一個(gè)有點(diǎn)復(fù)雜的故事，但直到7 - 8年前的潔凈室是整個(gè)房間徹底**灰塵的想法。哪個(gè)灰塵等級表示清潔度等等。它是用特殊的過濾器和空調(diào)嗎？
例如，在一個(gè)名為Class 1的空間中，我們創(chuàng)造了一個(gè)每立方米只有8個(gè)灰塵（頭發(fā)厚度的千分之一）的空間。但是，因?yàn)榭照{(diào)的費(fèi)用太多所以被認(rèn)為是“迷你環(huán)境”，并且有好的方法。

Q14: 這是否意味著一個(gè)小環(huán)境？
A14: 沒錯(cuò)。它只是清潔制造芯片的部件，這是半導(dǎo)體工廠的目的。
這只是空間在觸控是晶圓是芯片Nokka”保持清潔，如走動的位置，如工程師和Oereta工作，為的想法，作為一個(gè)整體較低。該晶片接觸的空間稱為“微環(huán)境”（ME）。
具體而言，它在制造設(shè)備和容器中。對于1立方米的粉塵水平，1微米以上的粉塵為零。
此外，還有8320個(gè)其他部分相反。

Q15: 換句話說，為了降低成本，雖然我到目前為止清理了整個(gè)房間，但ME只在晶圓接觸的地方保持清潔，之后它降低了水平。
A15: 這個(gè)“ME”時(shí)代的到來是洗滌容器的一個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn)。
到現(xiàn)在為止，整個(gè)房間很干凈，但容器清洗的意思是在某種程度上，“可以放在脆”，ME時(shí)代，因?yàn)橐磺卸甲兊瞄_始一個(gè)人在那里污染的來源，半導(dǎo)體制造商作為一個(gè)整體提出了容器清潔度管理可以對產(chǎn)量產(chǎn)生重大影響的想法。

Q16: Huggle為此做了什么？
A16: 簡而言之，在清洗容器的過程中，應(yīng)盡可能地制造一種不會將容器接觸人體的機(jī)構(gòu)。
開始無人看管的操作成為可能UPC-12500，UPC系列，操作者進(jìn)行較多設(shè)置12500的姊妹機(jī)，UPC之后是自動的，包括FOUP的分離，聚結(jié)- 12000R，UPC為SMIF POD - 8300所有處理都在設(shè)備中完成，并且設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)扇附件過濾器保持在大約10級的環(huán)境中。

關(guān)于<UPC-12500>

Q17: 什么是清潔能力（吞吐量）？
A17: 它是每小時(shí)6-10件。請?jiān)敿?xì)詢問。

Q18: 我也想洗FOSB？
A18: 只有FOSB類型的FIMS類型可用。目前不支持普通類型。對不起

Q19: 你檢查清潔性能嗎？
A19: LPC（粒子內(nèi)粒子計(jì)數(shù)器）將檢查FOUP中的殘留粒子。
請聯(lián)系我們獲取詳細(xì)的測量方法。

問20: 你怎么檢查干燥？
A20: 有兩種方法。一種方法是用肉眼檢查，檢查是否存在水滴。
另一種方法是使用便攜式溫度濕度計(jì)。將潔凈室內(nèi)的濕度與FOUP內(nèi)的濕度進(jìn)行比較。
有關(guān)詳細(xì)信息，請聯(lián)系我們。

Q21: 金屬污染等是否不被**？
A21: 我們現(xiàn)在選擇選項(xiàng)有一些保證。請?jiān)敿?xì)詢問。

Q22: 我可以用洗衣粉嗎？
A22: 可以使用表面活性劑。
作為一種選擇，可以在設(shè)備內(nèi)安裝表面活性劑罐。

Q23: AMHS是否僅支持OHT？
A23: RGV，AGV也是可能的。

Q24: 我把它安裝在海外工廠，但售后服務(wù)有問題嗎？
A24: 目前，集裝箱清洗裝置，專門機(jī)構(gòu)和我們的分公司，當(dāng)?shù)氐淖庸?，在美國，歐洲，韓國，臺灣，中國大陸，位于東南亞。這些方面沒有問題。

Q25: 它已經(jīng)交付了嗎
A25: UPC-12500在亞洲和美國（包括日本）的引進(jìn)成果相當(dāng)多。當(dāng)然，其他設(shè)備也有其他領(lǐng)域的交付經(jīng)驗(yàn)。

用例示例

[容器清洗裝置的各種類型的]
我們的容器清洗裝置，有一個(gè)寬范圍的在后續(xù)步驟中使用的跟蹤記錄以及只有前一步驟的。
這是符合標(biāo)準(zhǔn)的將是我們系統(tǒng)中的洗滌和干燥的較低條件的形狀，但它是我們的目標(biāo)，讓我靈活地對應(yīng)，以便它可以**各種形狀的容器。
請聯(lián)系我們。

下一篇：關(guān)于HUGLE電離器產(chǎn)品鎢針如何與多晶硅針不同
上一篇：日本THOMAS托馬斯新產(chǎn)品信息程控臺式低溫溫水箱

渝公網(wǎng)安備 50019002501360號