國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備廠商貨中芯訂單！

近日，至純科技迎來(lái)了浙商證券、海富通基金、申萬(wàn)宏源、光大證券等25家投資機(jī)構(gòu)調(diào)研。至純科技表示，公司濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺(tái)的量產(chǎn)訂單，客戶(hù)是中芯國(guó)際和萬(wàn)國(guó)半導(dǎo)體，這次的六臺(tái)設(shè)備都是槽式設(shè)備，主要是適用于半導(dǎo)體廠商8寸線(xiàn)。9月下旬可交付2臺(tái)，樂(lè)觀估計(jì)今年四季度或明年一季度確認(rèn)收入。

從清洗設(shè)備的配備量來(lái)看,目前以4萬(wàn)片產(chǎn)能的產(chǎn)線(xiàn)為例，一般情況下,8寸線(xiàn)匹配50臺(tái)設(shè)備,12寸線(xiàn)國(guó)內(nèi)匹配70臺(tái)設(shè)備左右,包括槽式和單片,國(guó)外有的廠商能夠達(dá)到120臺(tái)清洗設(shè)備水平。在一個(gè)Fab廠清洗機(jī)需要2個(gè)億美金。

隨著下游對(duì)良率要求高,會(huì)大量采用單片式,但是單片式清洗效率低,單片式清洗設(shè)備根據(jù)腔體數(shù)量不同,清洗效率也不同,一個(gè)腔體一次只能清洗一片。未來(lái)隨著良率越來(lái)越高,單片式需求會(huì)越來(lái)越大。我們公司通常根據(jù)客戶(hù)具體要求來(lái)提供清洗機(jī)。

目前市面上ZUI便宜的單片清洗設(shè)備是兩個(gè)腔體的50-60萬(wàn)美金,而6-8個(gè)腔體的單片式清洗設(shè)備的價(jià)值大概300-400萬(wàn)美金。槽式價(jià)格100-200萬(wàn)美金市場(chǎng)價(jià)格。

國(guó)外單片式清洗設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到12個(gè)、16個(gè)腔體了,腔體多對(duì)應(yīng)的附屬設(shè)備的介質(zhì)供應(yīng)也多,需要滿(mǎn)足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。設(shè)備選擇還是更看重良率和技術(shù)更新。

濕法清洗設(shè)備種類(lèi)很多,從種類(lèi)和功能上國(guó)產(chǎn)設(shè)備目前實(shí)現(xiàn)的只有其中的10%,公司產(chǎn)線(xiàn)達(dá)產(chǎn)以后希望做30%以上的品類(lèi),未來(lái)我們希望濕法清洗機(jī)臺(tái)的國(guó)產(chǎn)化率可以達(dá)到85%,進(jìn)口替代能夠大大增加國(guó)內(nèi)廠商的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力,避免國(guó)外廠商的價(jià)格壟斷。

清洗設(shè)備在晶圓制造過(guò)程中反復(fù)使用,每道工藝都要清洗,是必備工藝,也會(huì)有具體的細(xì)分,14nm是我們目前正在做的。公司的設(shè)計(jì)、制造實(shí)力是可以覆蓋較多種類(lèi),但是未來(lái)也是步步為營(yíng),不可能一蹴而就。我們非常看重客戶(hù)需求,未來(lái)會(huì)跟動(dòng)客戶(hù)需求逐步擴(kuò)張我們的產(chǎn)品線(xiàn)。

據(jù)悉，至純科技濕法事業(yè)部于去年底成立,目前有人員近40人,槽式清洗設(shè)備目前是在日本制造,將來(lái)會(huì)放在啟東,新廠樂(lè)觀估計(jì)十月份部分交付使用,明年下半年產(chǎn)能有望開(kāi)始釋放,但達(dá)產(chǎn)仍需過(guò)程,ZUI主要的制約因素是**人才的培訓(xùn)需要比較長(zhǎng)的周期。公司在去年年報(bào)提出的目標(biāo)是未來(lái)五年內(nèi)實(shí)現(xiàn)清洗設(shè)備累積銷(xiāo)售200臺(tái)。目前**期設(shè)計(jì)產(chǎn)能是年產(chǎn)48臺(tái)。未來(lái)濕法事業(yè)部的團(tuán)隊(duì)規(guī)模有望達(dá)到300-400人。