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產(chǎn)品名稱：日本SIMCO思美高除靜電離子棒5635 naitokikai有售
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：日本SIMCO
產(chǎn)品價格：0
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簡單介紹：

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品，專為需要 100 nm 或更小的細顆?？刂频撵o電消除應用而開發(fā)，例如在先進的半導體制造工藝中。

詳情介紹：

特征

■單晶硅電極在全球范圍內擁有****的
應用記錄，具有超低顆粒特性，避免了電極材料造成的金屬污染風險靜電消除性能
■低電位擺幅特性，即使在高電壓下也可使用距離為 100 mm，離子平衡在桿長度上幾乎沒有偏差 ■
智能控制電路始終自動管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■可通過 1/4 圈拆卸的更換電極有助于減少維護人員-小時。MP
方法具有非常小的電位擺幅，這簡化了設置。此外，小的電位擺幅有效地起到了將離子平衡長期保持在控制標準內的作用
。桿的長度根據(jù)EFEM設置半導體前端工藝
■緊湊型設計，內置 24V DC 驅動控制器
■全球范圍內的**支持網(wǎng)絡

規(guī)格

型號 5635 AeroBar MP

輸入電壓	24V 直流+/-10%
輸出電壓	高達約 13.5kv pp 可調
安裝距離	100mm 至 1000mm（無空氣吹掃）
離子發(fā)生方式	電暈放電方式 MP（脈沖調制）方式調制頻率 1 ～ 33 Hz
離子平衡	自動平衡條內 <+/-10V 條正下方位置差 <+/-10v （600 mm 距離）
電極	單晶硅電極可更換
吹掃氣體	清潔干燥空氣或N2
*大吹掃壓力	310Kpa
臭氧量	<0.05ppm（24小時積分值）
信號輸出	報警IO集電極開路輸出
尺寸	高78mm x 深34mm x 長度 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
外部的	ABS樹脂

什么是擴展 ISO Class1,10nm？
擴展 ISO 1 級，10nm 這是 ION Systems 獨特定義的清潔度定義，旨在支持細顆粒管理。ISO14644-1 規(guī)定*小粒徑為 100nm。擴展 ISO Class 1,10nm 采用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計算公式，對于粒徑為 10nm 或更大的顆粒，允許顆粒數(shù)為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。

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