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特征
■通過在整個表面上產(chǎn)生離子來均勻去除電荷。
適合近距離安裝使用 離子平衡調(diào)整非常容易,電位擺動小電極清洗超簡單
,幾秒鐘 即可完成清洗周期長
離子生成圖像


用法
■平板制造工序、
光罩制造工序、半導(dǎo)體后工序等
各種對靜電敏感的電子和設(shè)備的除靜電。
規(guī)格
輸入電壓 | 24V 直流 +/- 10%。 |
---|---|
靜電消除距離 | 50mm 至 1500mm |
離子產(chǎn)生方式 | 電暈放電式微脈沖法 |
相應(yīng)的吹掃氣體 | 清潔干燥空氣和 N2 |
離子平衡 | < +/- 25 伏 |
靜電消除性能 | 1 米距離時 6.5 秒或更短。0.25Mpa吹掃。+/- 1kv→100V靜電消除時間 |
電極 | 鎢絲 |
吹掃氣體量 | *大0.63MPa,每100mm長度*大16LPM |
臭氧產(chǎn)生量 | < 0.05ppm |
IO規(guī)格 | 報警IO輸出,高壓停機輸入 |
材料 | ABS樹脂、SUS |
尺寸 |
高84mm x 深33mm x 長400~3000mm 可選長度:400, 500, 650, 750, 900, 1000, 1150, 1250, 1400, 1500, 1650, 1750, 1900, 2200, 2150, 2250, 2 4 00 , 2500, 2650, 2750, 2900, 3000 |
對應(yīng)標準 | 符合歐盟指令 |