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特征
UV照射光源的切割膠帶UV固化裝置 ● UV照射強度可通過音量旋鈕調(diào)節(jié)(0至100%)
● UV照射器安裝結(jié)構(gòu)簡單,可輕松更換UV輻照器至其他波長 可更換
● 采用 N2 吹掃機構(gòu),減少 UV 固化的氧氣抑制● 采用 N2 預(yù)吹掃機構(gòu)
,減少額外的 UV 照射時間
● N2 吹掃量可通過流量計閥門控制

應(yīng)用示例
● 背磨時晶圓保護膜的固化 ●
切割后UV固化切割膠帶的固化
● 研發(fā)、實驗使用
● 小量生產(chǎn)使用
各部分名稱

半導(dǎo)體制造工序(后工序)

方面
典型示例:MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

* 請注意,規(guī)格可能會因產(chǎn)品改進而發(fā)生變化。
數(shù)據(jù)代表示例


陣容列表
-
MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2
輻照器類型 發(fā)射波長 N2氣體流量 機身尺寸 W / D / H [mm] 輸入電源電壓 [V] UV-LED 表面輻照器 可選擇 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min(流量可調(diào)) 350 x 600 x 190 AC100-240